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三星引入艾司摩尔顶级光刻机

2016-05-26 eNet&Ciweek/籽芽

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据外媒消息,三星电子在本月初派出包括一名执行副总裁在内的团队访问艾司摩尔(ASML)总部,计划引进最新的NXE3400光刻机,为7nm制程量产作准备。NXE3400单台设备造价高达9000万欧元。

由于使用13.5nm波长紫外光,NXE3400照射纹理更精细,避免了繁琐和昂贵的多图案化处理。三星计划在明年上半年完成EUV设备安装程序,试图凭借7nm先进工艺制程抢回A11芯片大单,并在高通之外拓展其他客户群体。

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