赛默飞世尔科技在SEMICON China 2018展示加速、创新和提高生产力的新解决方案

新产品专注于先进的故障分析和过程控制分析能力

上海2018年3月14日电 /美通社/ -- SEMICON China 2018 -- 科学服务领域的世界领导者赛默飞世尔科技(以下简称：赛默飞)宣布推出新产品，增强半导体制造的质量控制和产量。这些新产品将于2018年3月14日至16日在SEMICON China (N5馆5619号展位)展出。

赛默飞半导体副总裁兼总经理Rob Krueger表示：“赛默飞深耕用于控制生产工艺和诊断半导体和显示器制造过程和产品故障根本原因的先进分析技术。本周，我们将推出新产品，帮助推动亚洲，特别是中国的半导体制造业快速创新和持续拓展。”

Verios G4极高分辨率扫描电子显微镜

Thermo Scientific Verios G4极高分辨率(XHR)扫描电子显微镜(SEM)提供确定根本原因缺陷、产量损失以及过程和产品故障所需的能力和灵活性。

Krueger表示：“Verios G4是源于我们大获成功的Helios DualBeam系列 (聚焦离子束/扫描电子显微镜)仪器的扫描电子显微镜解决方案。它提供各种环境下行业领先的性能，尤其是用于先进工艺的光束敏感材料所需的低电压环境。”

Hyperion II快速高效的纳米探针 0·

纳米探测器直接对单个晶体管进行电测量。新的Thermo Scientific Hyperion II是基于原子力显微镜的唯一商用纳米探针，无需真空要求和基于扫描电子显微镜纳米探测器的电子束/样品相互作用。Hyperion II的自动操作和成像模式专为提高速度和易用性而设计。此外，其精确定位电气故障的能力可以提高DualBeam或者TEM后续分析的速度和效率。

iCAP TQs电感耦合等离子体质谱仪推动快速可靠的化学监测

Thermo Scientific iCAP TQs电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)是信誉卓著的iCAP TQ ICP-MS的专用半导体版本。它提供了超高纯度化学品中快速、可靠和可重复的低水平污染物测量，以支持先进半导体生产过程的自动化在线监测和统计过程控制。iCAP TQs ICP-MS 在一个高性能解决方案中提供了新的超低检测水平和简单性。有了这个新系统，如今将化学分析从实验室移到工厂成为可能，并支持对化学浴进行在线控制，从而优化响应时间。